弗萊貝格X-ray Diffractometer使用X 射線衍射儀XRD 進行晶圓棒,晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制晶棒定向 | 晶圓片分析| 石英片 分選定向:AT | SC | IT | TF | X | Y | Z
更新時間:2023-06-15
弗萊貝格X-ray Diffractometer
使用X 射線衍射儀XRD 進行晶圓棒,晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制
晶棒定向 | 晶圓片分析| 石英片 分選
定向:
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z
弗萊貝格X-ray Diffractometer
Quartz XRD的特點:
檢測速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標(biāo)準(zhǔn)偏差
空間分辨率: 1 mm ± 0.1 mm
› 測定相對于樣品的取向傾角
› 自動顯示角度分量(Theta & Phi) ,包括標(biāo)準(zhǔn)偏差
德國工藝: 穩(wěn)健及模塊化設(shè)計
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個用戶級別。自動顯示、記錄和報告測量數(shù)據(jù)
› 自動化: 定制不同規(guī)格的晶圓片或blank的樣品處理系統(tǒng),包括機器人,取放,振動分揀機